微型機(jī)械加工技術(shù)概念 

  微型機(jī)械加工或稱(chēng)微型機(jī)電系統(tǒng)或微型系統(tǒng)是只可以批量制作的,、集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器,、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路,、甚至外圍接口,、通訊電路和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng),。其主要特點(diǎn)有：體積?。ㄌ卣鞒叽绶秶鸀椋?μm-10mm）,、重量輕,、耗能低,、性能穩(wěn)定；有利于大批量生產(chǎn),，降低生產(chǎn)成本,；慣性小、諧振頻率高,、響應(yīng)時(shí)間短,；集約高技術(shù)成果，附加值高,。微型機(jī)械的目的不僅僅在于縮小尺寸和體積,，其目標(biāo)更在于通過(guò)微型化、集成化,、來(lái)搜索新原理,、新功能的元件和系統(tǒng)，開(kāi)辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域,，形成批量化產(chǎn)業(yè),。

  微型機(jī)械加工技術(shù)是指制作為機(jī)械裝置的微細(xì)加工技術(shù)。微細(xì)加工的出現(xiàn)和發(fā)展早是與大規(guī)模集成電路密切相關(guān)的,，集成電路要求在微小面積的半導(dǎo)體上能容納更多的電子元件,，以形成功能復(fù)雜而完善的電路。電路微細(xì)圖案中的最小線條寬度是提高集成電路集成度的關(guān)鍵技術(shù)標(biāo)志,，微細(xì)加工對(duì)微電子工業(yè)而言就是一種加工尺度從微米到納米量級(jí)的制造微小尺寸元器件或薄模圖形的先進(jìn)制造技術(shù),。目前微型加工技術(shù)主要有基于從半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工工藝中發(fā)展起來(lái)的硅平面加工和體加工工藝，上世紀(jì)八十年代中期以后在LIGA加工（微型鑄模電鍍工藝）,、準(zhǔn)LIGA加工,，超微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工（EDM）,、等離子束加工,、電子束加工、快速原型制造（RPM）以及鍵合技術(shù)等微細(xì)加工工藝方面取得相當(dāng)大的進(jìn)展,。 

  微型機(jī)械系統(tǒng)可以完成大型機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù),。微型機(jī)械與電子技術(shù)緊密結(jié)合，將使種類(lèi)繁多的微型器件問(wèn)世,，這些微器件采用大批量集成制造,，價(jià)格低廉,，將廣泛地應(yīng)用于人類(lèi)生活眾多領(lǐng)域?？梢灶A(yù)料,，在本世紀(jì)內(nèi)，微型機(jī)械將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向適用化,，對(duì)工農(nóng)業(yè),、信息、環(huán)境,、生物醫(yī)療,、空間、國(guó)防等領(lǐng)域的發(fā)展將產(chǎn)生重大影響,。微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)是微型機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)非常重要而又非?；钴S的技術(shù)領(lǐng)域，其發(fā)展不僅可帶動(dòng)許多相關(guān)學(xué)科的發(fā)展,，更是與國(guó)家科技發(fā)展,、經(jīng)濟(jì)和國(guó)防建設(shè)息息相關(guān)。微型機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展有著巨大的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用前景,。